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        Test items檢測項目

        冷場發射掃描電子顯微鏡
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        冷場發射掃描電子顯微鏡

        儀器照片

        儀器名稱

        場發射環境掃描電子顯微鏡

        儀器型號

        美國FEI Quanta 400 FEG

        儀器簡介

                Quanta FEG場發射環境掃描電子顯微鏡綜合場發射電鏡高分辨和ESEM環境掃描電鏡適合樣品多樣性的優勢,可對各種各樣的樣品(包括導電樣品、不導電樣品、含水含油樣品、加熱樣品等等)進行高分辨的靜態和動態觀察和分析。
                Quanta FEG可同時安裝能譜儀、波譜儀、EBSP、陰極熒光等附件。

        技術參數

            ?MonoCL3+陰極熒光譜儀,波長范圍160-930nm

            ?電子束感生電流(EBIC)

            ? STEM探測器

            ? Apollo 40 SDD能譜儀

            ? 液氮冷臺,溫度范圍為-185℃- +200℃

            ? 液氦冷臺,溫度范圍6K-300K

        儀器功能

            ? 可在高真空、低真空130Pa)、環境真空(4000Pa)下觀察導電和不導電樣品,對材料的表面和橫截面的微觀形貌、成分進     行分析,廣泛應用于金屬材料、高分子材料、半導體材料、納米材料等領域;

            ? 配備的Apollo40 SDD能譜無需液氮制冷,可進行快速的點、線、面分布分析,獲得能譜的mapping圖譜;

            ? 其樣品室直徑達284 mm,對于直徑達四英寸硅片可以直接進行測試,無需對樣品進行分割處理;

        檢測案例一

        (圖片)


        檢測案例二

        (能譜)

        樣品要求

                建議提供文獻圖片或者以前做過的圖片,如果沒有,檢測要求需詳細填寫??商峁?/span>12張圖片:即篩選出三個比較好的區域,每個區域提供3-4張不同放大倍數滿足測試要求的圖片,對于找不到符合測試要求的區域的樣品,我們將會多拍一些區域以證明樣品的真實情況!寄送樣品質量大于20mg。

         

         

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